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國產首臺!萬業企業:高能離子注入機通過客戶驗證 芯片制造關鍵一環

返回列表 來源: IT之家 發布日期: 2021.12.27

IT之家 12月27日消息,萬業企業今日在上證E互動平臺回復投資者,公司旗下凱世通的高能離子注入機設備已順利通過客戶驗證并完成驗收。這是國產高能離子注入機首次通過晶圓廠驗證。

國產首臺!萬業企業:高能離子注入機通過客戶驗證 芯片制造關鍵一環


IT之家了解到,離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中,需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能,這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中,離子注入機即是執行這一摻雜工藝的芯片制造設備。

高能離子注入機是離子注入機中技術難度最大的機型。長久以來,因其極大的研發難度和較高的行業競爭壁壘,被稱為離子注入機領域的“珠穆朗瑪峰”,是我國集成電路制造裝備產業鏈上亟待攻克的關鍵一環。

國產首臺!萬業企業:高能離子注入機通過客戶驗證 芯片制造關鍵一環


凱世通官網顯示,上海凱世通半導體股份有限公司于 2009 年 4 月在張江成立,由國際離子注入技術協會終身常務理事 —— 陳炯博士為首的五位國際知名離子注入設備專家創立。該團隊所開發的離子注入機全球銷售逾千臺。

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